품목명(스펙)
실험실용전기로,울텍,VF-150,1200℃
영문명
Laboratory electrie furnaces
검색키워드
Laboratory electrie furnaces, 실험용박스로
장비설명
태양전지 제조용 p-doping diffusion 및 firing 공정이 한 시스템 내에서 가능한 장비. 기판은 156mm*156mm 사각형 기판이 사용 가능하며 Main frame에 공정 chamber와 gas 공급부, system 제어부가 모두 구성되어 있음.
장비구성
및
성능
단열재종류 high purity alumina, 발열체 R type spike